Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2012» (ICMNE-2012), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика – 2012» (QI-2012) и семинар "Кремний на изоляторе – 2012" (SOI-2012), будет проводиться с 1 по 5 октября 2012 г. в пансионате «Липки», Звенигород, Московская обл. Она продолжает серию Всероссийских конференций "MНE-1999", "MНE-2001", "КИ-2002" и международных конференций "ICMNE-2003", "QI-2004", "ICMNE-2005", "QI-2005", "ICMNE-2007", "QI-2007", "ICMNE-2009", "QI-2009".

   В рамках конференции проводится выставка диагностического и технологического оборудования для микроэлектроники.

   Рабочий язык конференции ICMNE-2012 - английский.

Тематика:

Материалы и пленки для микро- и наноэлектроники:

• КНИ, Si, SiGe, A³B⁵, A²B⁶
• Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
• Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
• Магнитные материалы, наномагнетики
• Нанотрубки, графен
• Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы

Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:

• Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
• Плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
• Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
• Процессы CVD, молекулярная эпитаксия

Метрология:

• Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
• Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур

Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:

• Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные, тонкопленочные и другие
• Интегральные устройства памяти, мемристоры
• Магнитные микро- и наноструктуры
• Приборы спинтроники
• Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
• Приборы оптоэлектроники, фотоники
• Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)

Моделирование:

• Моделирование технологических процессов
• Моделирование микро- и наноэлектронных приборов

КНИ и низкоразмерные структуры:

• Технология и эксперименты
• Приборы
• Теория и моделирование

Квантовая информатика:

• Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
• Квантовые измерения
• Квантовые алгоритмы
• Квантовая связь

   Оргкомитет ICMNE-2012 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, промышленности. Программный комитет будет оказывать предпочтение докладам, содержащим результаты последних оригинальных исследований, соответствующих тематике конференции. Тезисы доклада и полные тексты для публикации в SPIE должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком.
   Файлы тезисов докладов на ICMNE-2012 направлять по адресу icmne2012@ftian.ru.

Последний срок отправки тезисов 31 июля 2012.