|
|
Международная конференция "Микро- и наноэлектроника - 2012" (ICMNE-2012) с расширенной сессией "Квантовая информатика" и семинаром "Кремний на изоляторе" состоится в подмосковном пансионате “Липки”, г. Звенигород, с 1 по 5 октября 2012 г.
Эта конференция продолжает ряд регулярных Всероссийских ("МНЕ-1999", "МНЕ-2001", "КИ-2002") и международных ("ICMNE-2003", "QI-2004", "ICMNE-2005", "QI-2005", "ICMNE-2007", "QI-2007", "ICMNE-2009", "QI-2009") конференций.
|
|
|
Тематика:
Материалы и пленки для микро- и наноэлектроники:
- КНИ, Si, SiGe, A3B5, A2B6
- Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
- Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
- Магнитные материалы, наномагнетики
- Нанотрубки, графен
- Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:
- Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
- Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
- Процессы CVD, молекулярная эпитаксия
Метрология:
- Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
- Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур
Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:
- Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные, тонкопленочные и другие
- Интегральные устройства памяти, мемристоры
- Магнитные микро- и наноструктуры
- Приборы спинтроники
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
- Приборы оптоэлектроники, фотоники
- Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
Моделирование:
- Моделирование технологических процессов
- Моделирование микро- и наноэлектронных приборов
КНИ и низкоразмерные структуры:
- Технология и эксперименты
- Приборы
- Теория и моделирование
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
- Квантовые измерения
- Квантовые алгоритмы
- Квантовая связь
Оргкомитет ICMNE-2012 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, промышленности. Программа симпозиума будет включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако пожелания авторов, конечно, будут учтены.
Одностраничные тезисы докладов должны содержать оригинальные научные результаты и быть представлены на английском языке.
Для представления устных докладов будет предоставлен стандартный проектор (для «прозрачек») и оборудование для компьютерных презентаций (мультимедийный проектор, компьютер; презентация должна быть выполнена в Microsoft PowerPoint). Во избежание проблем с несовместимостью различных версий предпочтительно использовать презентацию в формате PDF.
Размер стенда для стендового доклада: 120 см х 120 см.
|
|